直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文)
直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文)
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DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
贾辉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王新建;宋航;黎大兵;蒋红;李志明;缪国庆;孙晓娟;陈一仁;贾辉
