ダイヤモンドペレットによる単結晶サファイアウェーハの平坦加工技術に関する研究
ダイヤモンドペレットによる単結晶サファイアウェーハの平坦加工技術に関する研究
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金刚石颗粒单晶蓝宝石晶圆整平技术研究
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
篠田知顕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田代芳章;周立波;清水淳;三井義則;篠田知顕
