保護膜厚さを考慮した集積回路配線の断線故障予測法
保護膜厚さを考慮した集積回路配線の断線故障予測法
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考虑保护膜厚度的集成电路布线断线故障预测方法
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂 真澄)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
笹川和彦;(長谷川昌孝;吉田直樹;坂 真澄)
