Surface activated bonding of LiNbO3 and Si for optical microsystem
Surface activated bonding of LiNbO3 and Si for optical microsystem
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用于光学微系统的 LiNbO3 和 Si 的表面活化键合
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ryo Takigawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryo Takigawa;Jun Utsumi;竹内琢磨，居村岳広，郡司大輔，藤本博志，堀洋一;古里洸一，居村岳広，堀洋一;長井千明，犬飼健二，小林正人，江藤次郎，田中達也，安藤賢一，居村岳広，堀洋一;Ryo Takigawa
