電界スラリー制御技術を適用した高効率CMP技術の開発
電界スラリー制御技術を適用した高効率CMP技術の開発
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应用电场浆料控制技术开发高效CMP技术
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
泉泰秀，池田洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
尹成圓;鈴木健太;廣島洋;泉泰秀，池田洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一
