ω-SPV法によるSiウェーハの少数キャリア寿命評価
ω-SPV法によるSiウェーハの少数キャリア寿命評価
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使用 ω-SPV 方法评估硅片少数载流子寿命
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
板野純希，清水博文，池田正則
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Goto;Y. Tsuji;T. Yasui;and K. Hirayama;板野純希，清水博文，池田正則
