シリル基を含む高分子ナノシートの作製と超薄膜レジストへの応用
シリル基を含む高分子ナノシートの作製と超薄膜レジストへの応用
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含硅烷基聚合物纳米片的制备及其在超薄膜抗蚀剂中的应用
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sabiha Sultana
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Shinzato;et. al.;Sabiha Sultana
