レジストにおけるシランカップリング剤の効果と使用方法および処理装置
レジストにおけるシランカップリング剤の効果と使用方法および処理装置
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硅烷偶联剂在光刻胶及加工设备中的作用及用途
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
河合 晃他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
森田 直也;河合 晃;河合 晃;河合 晃他
