Effects of Si Layer Thickness on Solid-Phase Crystallization of Stacked Ge/Si/SiO 2 Structures
Effects of Si Layer Thickness on Solid-Phase Crystallization of Stacked Ge/Si/SiO 2 Structures
复制标题
Si层厚度对堆叠Ge/Si/SiO 2 结构固相结晶的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Miyao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Sadoh;H.Ohta;M.Miyao
