S. Matsuo, T. Sadoh, H. Nakashima, and T. Tsurushima: ""Ion-assisted oxidation with ECR plasma : Effects of ion-irradiation""Technical Report of IEICE. ED99-23. 87-94 (1999)

S. Matsuo, T. Sadoh, H. Nakashima, and T. Tsurushima: ""Ion-assisted oxidation with ECR plasma : Effects of ion-irradiation""Technical Report of IEICE. ED99-23. 87-94 (1999)
复制标题

S. Matsuo、T. Sadoh、H. Nakashima 和 T. Tsurushima:““ECR 等离子体离子辅助氧化:离子辐照的影响””IEICE 技术报告。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献