金属触媒シリコンエッチングによるナノポーラス構造を用いた マイクロクヌーセンポンプ
金属触媒シリコンエッチングによるナノポーラス構造を用いた マイクロクヌーセンポンプ
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Micro-Knudsen 泵采用金属催化硅蚀刻形成的纳米孔结构
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
猪股 直生，鎌倉 健太郎， Nguyen Van Toan，小野 崇人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Naoki Inomata;Nguyen Van Toan;Masaya Toda;and Takahito Ono;猪股 直生，鎌倉 健太郎， Nguyen Van Toan，小野 崇人
