Mechanism of initial thermal oxidation on Si(113) surfaces
Mechanism of initial thermal oxidation on Si(113) surfaces
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Si(113)表面初始热氧化机理
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Takakuwa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Ogawa;H. Tanaka;S. Ohno;M. Tanaka;K. Miki;S. Ogawa; Y.Takakuwa
