CF3Iガス及びCF3I/N2混合ガスの不平等電界下における放電特性
CF3Iガス及びCF3I/N2混合ガスの不平等電界下における放電特性
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CF3I气体和CF3I/N2混合气体在不等电场下的放电特性
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
日高邦彦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
武田敏信;松岡成居;熊田亜紀子;日高邦彦