Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討
Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討
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能够检测Sub-1G至20G的集成MEMS加速度传感器的研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
益 一哉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山根大輔;小西敏文;松島隆明;年吉 洋;町田克之;益 一哉
