貴金属触媒を用いた湿式Si-TSVエッチングにおける添加剤の効果
貴金属触媒を用いた湿式Si-TSVエッチングにおける添加剤の効果
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添加剂对使用贵金属催化剂的湿法 Si-TSV 蚀刻的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
新宮原正三
中科院分区：
文献类型：
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作者：
丹羽良輔;花谷俊輔;山口嵩人;清水智弘;伊藤健;新宮原正三
