K.Maruyama: "Formation of carbon films from CX_2HX_6-HX_2 by ECR plasma CVD by application of a negative DC bias" Bull.Chem.Soc.Jpn.66. 975-977 (1993)
K.Maruyama: "Formation of carbon films from CX_2HX_6-HX_2 by ECR plasma CVD by application of a negative DC bias" Bull.Chem.Soc.Jpn.66. 975-977 (1993)
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K.Maruyama：“通过应用负直流偏压，通过 ECR 等离子体 CVD 从 CX_2HX_6-HX_2 形成碳膜”Bull.Chem.Soc.Jpn.66。
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