SURFACE-MORPHOLOGY OF CUBIC SIC(100) GROWN ON SI(100) BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

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DOI:
10.1016/0022-0248(86)90158-2
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发表时间:
1986-12-01
影响因子:
1.8
通讯作者:
MATSUNAMI, H
MATSUNAMI, H
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
SHIBAHARA, K;NISHINO, S;MATSUNAMI, H

文献摘要

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