磁界型4極子レンズを用いた精密形状創成用小径イオンガンの開発
磁界型4極子レンズを用いた精密形状創成用小径イオンガンの開発
复制标题
开发利用磁场型四极透镜进行精密形状制作的小口径离子枪
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
三浦孝治
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
矢上裕晃;柳下裕也;瀧野日出雄;国部利寿;三浦孝治
