Growth of 3C-SiC/Si Multilayer Heterostructures by Supersonic Free Jets
Growth of 3C-SiC/Si Multilayer Heterostructures by Supersonic Free Jets
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超音速自由射流生长 3C-SiC/Si 多层异质结构
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.338-342.265
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Motooka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Ikoma;T. Endo;T. Tada;F. Watanabe;T. Motooka
