M.Kawasaki: "XPS Analysis of the Initial Stage of Deposition of Hydrogenated Amorphous Silicon Film from SiH3 Radicals." To be Submitted to Surf.Interface Anal.

M.Kawasaki: "XPS Analysis of the Initial Stage of Deposition of Hydrogenated Amorphous Silicon Film from SiH3 Radicals." To be Submitted to Surf.Interface Anal.
复制标题

M.Kawasaki:“SiH3 自由基沉积氢化非晶硅薄膜的初始阶段的 XPS 分析”。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献