Highly sensitive membrane-type surface stress sensor (MSS) and its applications
Highly sensitive membrane-type surface stress sensor (MSS) and its applications
复制标题
高灵敏薄膜式表面应力传感器（MSS）及其应用
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Heinrich Rohrer
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Genki Yoshikawa;Terunobu Akiyama;Sebastian Gautsch;Peter Vettiger;Heinrich Rohrer
