曲率を有する薄膜－基板系の微細構造形成の有限要素解析
曲率を有する薄膜－基板系の微細構造形成の有限要素解析
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具有曲率的薄膜-基底系统中微结构形成的有限元分析
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤本悠満，永島 壮，中谷彰宏，土井祐介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤本悠満，永島 壮，中谷彰宏，土井祐介
