N.SONODA,Y.WATARI,Yong SUN: "Observation of the Formation Processes of Hollow Voids at the Interface between Sic Films and Si Substrate" Jpn.J.Appl.Phys.35・12B. L1655-L1657 (1996)
N.SONODA,Y.WATARI,Yong SUN: "Observation of the Formation Processes of Hollow Voids at the Interface between Sic Films and Si Substrate" Jpn.J.Appl.Phys.35・12B. L1655-L1657 (1996)
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N.SONODA、Y.WATARI、Yong SUN：“SiC 薄膜与 Si 基板界面处空洞形成过程的观察”Jpn.J.Appl.Phys.35・12B (1996)。
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