遷移金属窒化物を用いた金属/Geコンタクトの障壁制御

遷移金属窒化物を用いた金属/Geコンタクトの障壁制御
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使用过渡金属氮化物对金属/Ge接触进行势垒控制

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中島 寛
中島 寛
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
山本 圭介;光原 昌寿;王 冬;中島 寛

文献摘要

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