Ion assisted deposition of titanium chromium nitride
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DOI：
10.1016/j.tsf.2005.05.005
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发表时间：
2006-02
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
V. Vishnyakov;V. Bachurin;K. F. Minnebaev;R. Valizadeh;D. Teer;J. Colligon;V. Vishnyakov;V. Yurasova
中科院分区：
文献类型：
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作者：
V. Vishnyakov;V. Bachurin;K. F. Minnebaev;R. Valizadeh;D. Teer;J. Colligon;V. Vishnyakov;V. Yurasova
