極薄GeOX界面層を有するY2O3/Ge ゲートスタックの低温形成
極薄GeOX界面層を有するY2O3/Ge ゲートスタックの低温形成
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具有超薄GeOX界面层的Y2O3/Ge栅叠层的低温形成
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中島寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永冨雄太;小島秀太;亀沢翔;山本圭介;王冬;中島寛
