Control Performance of Interactions between Reactive Plasma Jet and Substrate

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反应等离子体射流与基体相互作用的控制性能

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics 45
影响因子：
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通讯作者：
Hideya Nishiyama
Hideya Nishiyama
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
J Choi;M Kawaguchi;T Kato;M Ikeyama;Hideya Nishiyama

文献摘要

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