Shun-ichi ISHIHARA: "Preparation of High Quality Microcrystalline Silicon from Fluorinated Precursors by a Layer-by-Layer Technique" Japanese Journal of Applied Physics.
Shun-ichi ISHIHARA: "Preparation of High Quality Microcrystalline Silicon from Fluorinated Precursors by a Layer-by-Layer Technique" Japanese Journal of Applied Physics.
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Shun-ichi ISHIHARA：“通过逐层技术从氟化前体制备高质量微晶硅”日本应用物理学杂志。
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