Siイオン注入型素子の電気的特性
Siイオン注入型素子の電気的特性
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Si离子注入器件的电特性
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石丸真佑
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R.Tateno;K.Nansai;T.Satou;M.Senda;N.Mori;石丸真佑
