電荷移動型分子動力学法による4H-SiCの熱酸化シミュレーション
電荷移動型分子動力学法による4H-SiCの熱酸化シミュレーション
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采用电荷转移分子动力学方法模拟4H-SiC的热氧化
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
酒井信介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高本聡;山崎隆浩;大野隆央;金田千穂子;泉聡志;酒井信介
