I.Yamada: "Gas Cluster Ion Beam Equipment" Abstracts of International Conference on Ion Implantation Technology '94. (1994)
I.Yamada: "Gas Cluster Ion Beam Equipment" Abstracts of International Conference on Ion Implantation Technology '94. (1994)
复制标题
I.Yamada：“气体团簇离子束设备”国际离子注入技术会议94摘要。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
