THE ENERGY DISTRIBUTIONS OF ATOMS SPUTTERED FROM HFC
THE ENERGY DISTRIBUTIONS OF ATOMS SPUTTERED FROM HFC
复制标题
HFC 溅射原子的能量分布
DOI:
10.1016/0375-9601(81)90121-3
复制
发表时间:
1981
影响因子:
2.6
通讯作者:
M. Szymoński
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
M. Szymoński