Reactive Ion Etching of Zinc Oxide Using Methane and Hydrogen Gases
Reactive Ion Etching of Zinc Oxide Using Methane and Hydrogen Gases
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使用甲烷和氢气对氧化锌进行反应离子蚀刻
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroshi OGAWA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Qixin GUO;Nozomu UESUGI;Tooru TANAKA;Mitsuhiro NISHIO;Hiroshi OGAWA
