N.Takada: "Diagnostics of fluorine negative ions by laser photodetachment combined with a heated probe in high-density CF_4 plasmas" Jpn.J.Appl.Phys.36・12B. L1702-L1705 (1997)
N.Takada: "Diagnostics of fluorine negative ions by laser photodetachment combined with a heated probe in high-density CF_4 plasmas" Jpn.J.Appl.Phys.36・12B. L1702-L1705 (1997)
复制标题
N.Takada：“在高密度 CF_4 等离子体中通过激光光分离结合加热探针来诊断氟负离子”Jpn.J.Appl.Phys.36・12B (1997)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
