NLDプラズマの解析(XXI)-エッチャントラジカル生成分布の気圧依存性
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NLD 等离子体分析 (XXI) - 蚀刻剂自由基产生分布的压力依赖性
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菅原広剛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
浅見勇介(発表者);吉田拓平;菅原広剛
