Source gas distribution measurement in focused-ion-beam chemical vapor deposition using graphene sensing device
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使用石墨烯传感装置测量聚焦离子束化学气相沉积中的源气体分布
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sunao Ishihara and Reo Kometani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shin'ichi Warisawa;Si Chen;Takahito Ono;Ichiro Yamada;Sunao Ishihara and Reo Kometani
