Film property of diamond-like carbon deposited by magnetron sputtering
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磁控溅射类金刚石碳薄膜性能
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Takayuki Ohta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jo Matsushima;Kazunori Iga;Akinori Oda;Hiroyuki Kousaka;and Takayuki Ohta
