Osami Sakata: "X-ray evaluation of microroughness of mechano-chemically polished silicon Surfaces" Jpn.J.Appl.Phys.32. L616-L619 (1993)
Osami Sakata: "X-ray evaluation of microroughness of mechano-chemically polished silicon Surfaces" Jpn.J.Appl.Phys.32. L616-L619 (1993)
复制标题
Osami Sakata：“机械化学抛光硅表面微观粗糙度的 X 射线评估”Jpn.J.Appl.Phys.32。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
