エピタキシャル成長法によるFe添加HfO2超薄膜の作製と結晶構造評価

エピタキシャル成長法によるFe添加HfO2超薄膜の作製と結晶構造評価
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外延生长法制备Fe掺杂HfO2超薄膜及晶体结构评价

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
今野豊彦
今野豊彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
白石貴久;Sujin Choi;清水荘雄;舟窪浩;木口賢紀;今野豊彦

文献摘要

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