半極性(10-13)面AlNエピ膜中の微細構造の評価
半極性(10-13)面AlNエピ膜中の微細構造の評価
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半极性(10-13)面AlN外延薄膜微观结构评价
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
児島一聡
中科院分区：
文献类型：
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作者：
沈旭強;児島一聡
