自律型プラズマナノエッチング製造装置の創製～装置が自己判断、自己制御、自己修正する究極のプラズマプロセスの実現～
自律型プラズマナノエッチング製造装置の創製～装置が自己判断、自己制御、自己修正する究極のプラズマプロセスの実現～
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打造自主等离子体纳米蚀刻制造设备 - 实现设备自我判断、自我控制、自我修正的终极等离子体工艺 -
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹田圭吾
中科院分区：
文献类型：
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作者：
堀勝;竹田圭吾
