Akihito Matsumuro, Tomoyuki Watanabe, Toshiyuki Hayashi, Toshihiko Mori & Yutaka Takahashi: "Mechanical Properties of TiN Films with the Prefereed Orientations by Nano-Indentaion Methods"Materials Science Research International. Vol.6-No.3. 180-185 (2000)
Akihito Matsumuro, Tomoyuki Watanabe, Toshiyuki Hayashi, Toshihiko Mori & Yutaka Takahashi: "Mechanical Properties of TiN Films with the Prefereed Orientations by Nano-Indentaion Methods"Materials Science Research International. Vol.6-No.3. 180-185 (2000)
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松室明仁、渡边智之、林俊之、森俊彦
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