X-ray photoelectron spectroscopy study of ultrathin oxide layers on Al and Si substrates

X-ray photoelectron spectroscopy study of ultrathin oxide layers on Al and Si substrates
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铝和硅基体上超薄氧化层的 X 射线光电子能谱研究

DOI:
10.1016/0040-6090(93)90382-y
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发表时间:
1993
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
T. Šarapatka
T. Šarapatka
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
T. Šarapatka

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