高性能薄膜ネオジム永久磁石を用いた2自由度駆動型マイクロアクチュエータ
高性能薄膜ネオジム永久磁石を用いた2自由度駆動型マイクロアクチュエータ
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采用高性能薄膜钕永磁体的二自由度驱动微执行器
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本日登志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田辺亮;後藤駿治;YaoSen;進士忠彦;上原稔;山本日登志
