Impacts of plasma process parameters on mechanical properties of c-BN thin-films
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复制标题
等离子体工艺参数对c-BN薄膜力学性能的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Noma;K. Eriguchi;S. Hasegawa;M.Yamashita;Y. Takao;N. Terayama;K. Ono
