有機シラン単分子膜レジストへの電子線照射効果の解析
有機シラン単分子膜レジストへの電子線照射効果の解析
复制标题
电子束辐照对有机硅烷单层光刻胶的影响分析
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大泊 巌
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三宅 丈雄;大泊 巌
