浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第3報）－ 平行度調整による支持性能向上の検討 －
浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第3報）－ 平行度調整による支持性能向上の検討 －
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利用悬浮力控制的挤压效应支撑微移动台的开发（第三次报告） - 通过调整平行度提高支撑性能的研究 -
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田丸雄摩，東福修太朗，清水浩貴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuma TAMARU,Tomohiro USHIJIMA;and Hiroki SHIMIZU;田丸 雄摩,牛島 智大,清水 浩貴;田丸雄摩，牛島智大，清水浩貴;田丸雄摩，牛島智大，清水浩貴;田丸雄摩，東福修太朗，清水浩貴
