Spin-coating process of block copolymer thin films through the in-situ fast GISAXS measurements
Spin-coating process of block copolymer thin films through the in-situ fast GISAXS measurements
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通过原位快速 GISAXS 测量进行嵌段共聚物薄膜的旋涂工艺
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroki Ogawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasuo Azuma;Masanori Sakamoto;Toshiharu Teranishi;Yutaka Majima;市來龍大，津留卓斗，喜多村圭一，赤峰修一，金澤誠司;Hiroki Ogawa
