竹添法隆.横谷篤至他: "誘電体バリア放電Xeエキシマランプを用いたポリマーのフォトエッチング" レーザー研究. 24・11. 91-97 (1996)

竹添法隆.横谷篤至他: "誘電体バリア放電Xeエキシマランプを用いたポリマーのフォトエッチング" レーザー研究. 24・11. 91-97 (1996)
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Noritaka Takezoe、Atsushi Yokotani 等人:“使用介质阻挡放电 Xe 准分子灯进行聚合物的光刻”激光研究 24・11 (1996)。

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