K.Yamashita: "Ultrasonic Sensor Using Piezoelectric Film on Silicon Diaphragm and Its Resonant-Frequency Tuning"Tech.Digest of the 12^<th> Inte'l Conf.On Solid State Sensors, Actuators and Microsystem (Transducers '03). 1. 939-942 (2003)
K.Yamashita: "Ultrasonic Sensor Using Piezoelectric Film on Silicon Diaphragm and Its Resonant-Frequency Tuning"Tech.Digest of the 12^<th> Inte'l Conf.On Solid State Sensors, Actuators and Microsystem (Transducers '03). 1. 939-942 (2003)
复制标题
K.Yamashita：“在硅膜片上使用压电薄膜的超声波传感器及其谐振频率调谐”第 12 届国际固体传感器、执行器和微系统技术会议摘要（传感器 03）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
